測(cè)量范圍：±2.5mm。
最大允許掃描探測(cè)誤差：MPETHP≤2.0μm（使用 CRYSTA-Apex S700/900 機(jī)型及 ?8×60mm 測(cè)針時(shí)）。
刻度分辨率：＜0.02μm。
彈簧剛度：約 1.8N/mm。
最大測(cè)針長(zhǎng)度：水平及垂直方向均可支持至 500mm，部分應(yīng)用場(chǎng)景下經(jīng)特殊配置可搭載長(zhǎng)達(dá) 1000mm 的測(cè)針。
最大測(cè)針質(zhì)量：500g。
最大追蹤速度：采用已知幾何形狀掃描模式時(shí)可達(dá) 120mm/s。
適配長(zhǎng)測(cè)針高精度測(cè)量：軸套式安裝，并運(yùn)用數(shù)字柵尺、讀數(shù)頭技術(shù)及獨(dú)立光學(xué)測(cè)量原理，能直接測(cè)量整個(gè)機(jī)構(gòu)的偏移情況，規(guī)避堆疊軸誤差，即使搭配 1000mm 的長(zhǎng)測(cè)針或星形測(cè)針配置，也可保障高精度。
支持快速測(cè)針更換：借由 SCP80 測(cè)針交換端口與 SH80 測(cè)針架，可與模塊化更換架系統(tǒng)（MRS）對(duì)接實(shí)現(xiàn)測(cè)針自動(dòng)交換，優(yōu)化生產(chǎn)效率。且測(cè)針重復(fù)定位精準(zhǔn)，更換后常無(wú)需重新校準(zhǔn)。
具備碰撞保護(hù)功能：可分離測(cè)針吸盤(pán)具備 XY 碰撞保護(hù)功能，同時(shí) Z 向設(shè)有碰撞緊急停設(shè)置，可防止測(cè)頭因意外碰撞而損壞。
可借由 UCC2 SP80 插卡直接整合系統(tǒng)。或使用雷尼紹 PCI 計(jì)數(shù)卡（CC6）加細(xì)分盒裝置（IU80）組合，此外，也兼容與 IU80 適配的 OEM 定制接口卡等。
