測(cè)量范圍:±0.5mm。
最大掃描速度:采用已知幾何形狀掃描模式時(shí),其速度最高達(dá) 120mm/s。
超程量:XY 方向?yàn)?±2.0mm,Z 方向?yàn)?±1.7mm。
掃描探測(cè)誤差:使用 ?4×50mm 測(cè)針并配合 Crysta-Apex C700/900 機(jī)型測(cè)量時(shí),MPETHP ≤ 2.3μm。
彈簧剛度:0.4N/mm。
測(cè)針規(guī)格:測(cè)針安裝規(guī)格是 M3 接口,使用 SM25-3 或 SH25-3 組件時(shí),最長(zhǎng)支持 200mm 測(cè)針;若用特定 5 款掃描模塊,有效工作長(zhǎng)度可擴(kuò)至 400mm。