測(cè)量范圍：X 軸、Y 軸、Z 軸分別為 120mm、120mm、80mm。

分辨力：0.02μm。

精度指標(biāo)：按 JIS B 7440-2 標(biāo)準(zhǔn)，其最大允許長(zhǎng)度測(cè)量誤差 MPEE 為，19 至 21℃時(shí)，(2.4+5.7L/1000)μm；15 至 25℃時(shí)，(2.7+6.4L/1000)μm；10 至 30℃時(shí)，(3.1+7.2L/1000)μm；10 至 35℃時(shí)，(3.4+7.9L/1000)μm，其中 L 表示測(cè)量長(zhǎng)度，單位為 mm。

驅(qū)動(dòng)速度：各軸驅(qū)動(dòng)速度為 8 至 200mm/s，最大合成驅(qū)動(dòng)速度達(dá) 340mm/s；測(cè)量速度為 1 至 15mm/s。

驅(qū)動(dòng)加速度：各軸最大 3900mm/s2，最大合成加速度是 6750mm/s2。

導(dǎo)向與驅(qū)動(dòng)方式：導(dǎo)向采用直動(dòng)式硬軸承，無(wú)需氣源，具備免維護(hù)優(yōu)勢(shì)。驅(qū)動(dòng)依靠 DC 電機(jī)與滾珠絲杠，并借助速度或位置反饋確保精準(zhǔn)定位。

控制器：配備 UC400K 控制器，支持 SMS（Smart Measuring System）智能測(cè)量系統(tǒng)，能監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)，利于實(shí)現(xiàn)智能工廠的設(shè)備集中管理。

測(cè)頭適配情況：可依據(jù)測(cè)量需求裝配接觸觸發(fā)式測(cè)頭 MTP-001 或掃描測(cè)頭 MPP-001 等 MACH Ko-ga-me 系列的專(zhuān)用測(cè)頭，抗噪性能更優(yōu)，能完成單特征快速檢測(cè)或連續(xù)掃描測(cè)量。